XRF膜厚測定装置 Kシリーズ

概　要

K シリーズは、さまざまなサンプルを扱う品質管理部門向けに開発されました。高さ 222mmまでのパーツに対して、クラス最高レベルの 305mm×305mm の測定可能領域を備えています。自動マルチコリメータにより、さまざまな形状に対応するスポットサイズを選択できます。可変カメラにより、6.35mm～89mm の焦点距離での測定が可能です。

サーボモーター駆動のプログラマブルステージは、迅速かつ正確にサンプルの測定位置をプログラムできます。カンチレバー式ドア設計により、オペレーターは簡単にサンプルを設置できます。テーブルビュー機能により、測定可能エリア全体を表示可能で、ワンクリックで任意の場所に移動できます。ジョイスティックを内蔵しているため、ソフトウェアを介さずにシステムのコントロールパネルから XY ステージを動かすことができます。

標準の K シリーズ構成には、4 ポジションのマルチプルコリメータアセンブリが含まれます。オプションのサイズは 0.05 x 0.05 mm から最大 1.5 mm です。可変フォーカスにより、凹部領域での測定が容易になります。 サーボモーター駆動のプログラム可能な X-Y ステージにより、選択可能な XYZ プログラムで部品の測定が可能です。プログラムでは、パターンマッチングと自動フォーカスを使用して、正確な測定を保証します。すべての Bowman XRF システムと同様に、K シリーズには標準のシリコンドリフト検出器 (SDD) と長寿命のマイクロフォーカス X 線管が搭載されています。

用途

• 305mm 角(12 インチ角)までの大型サンプルの膜厚測定が可能
• 最大 222mm の高さのサンプルに対応

仕　様

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