XRF膜厚測定装置 Mシリーズ

概　要

M シリーズは、極小フィーチャー用の高性能薄膜厚み測定装置です。M シリーズのポリキャピラリー光学系は O シリーズよりもさらに進化し、X 線ビームを FWHM7.5μm まで集光します。このスケールの形状を測定するために、 さらに高いデジタルズームを備えた倍率 140 倍のカメラが搭載されています。倍率が高くなると視野が制限されるため、2 台目のカメラで測定部分をマクロ撮影します。このデュアルカメラシステムにより、オペレーターはパーツ全体を確認し、画像をクリックして高倍率カメラで拡大し、測定箇所をピンポイントで特定することができます。

高精度のプログラマブル X-Y ステージを使用して、複数のポイントを選択して測定することができます。より広い領域の測定を行うために拡張ステージオプションも選択可能です。また、パターン認識ソフトウェアによって自動的に測定することもできます。シリコンウエハのような部品の表面領域上のコーティングのトポグラフィーを見るために使用できる 2D マッピングシステムも搭載しています。

標準構成には、15μm 光学系と、より高いカウントレートを処理するための高分解能 LSDD検出器が含まれます。プログラム可能な X-Y ステージも標準装備されています。光学系の焦点距離が近いため、M シリーズで測定するサンプルは平坦である必要があります。

用途

• 半導体、コネクタ、PWB の小さな部品測定
• 同一パターンの多数の検査が必要なアプリケーション向け
• <100nm 程度の薄膜測定

仕　様

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