深紫外ファイバーレーザ Cygnus

概　要

半導体フォトマスク検査に最適な199nmのDUVレーザ

特　長

• 発振波長199nm、出力80mW以上
• 高効率かつ安定した固体非線形結晶による短波長への波長変換
• パルス光源によるマスク検査の実現
• 検査装置の色収差を抑制できる狭いスペクトル幅
• 検査装置への応用
• 1年の連続運転と出力の自動復帰機能
• 定期的なメンテナンスは年1回

仕　様

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