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XRF膜厚測定装置
XRF膜厚測定装置 Pシリーズ
概 要
P シリーズは、さまざまなサンプルのサイズ、形状、数量を測定できる柔軟性を備えています。高精度なプログラムが可能な X-Y ステージが標準装備されており固定ステージ搭載モデルに比べて測定位置の制御が容易になります。
測定位置は操作ソフトの画面上をクリックするだけで、指定することが可能です。また、マルチポイントプログラム機能により、指定した複数の測定位置を自動で測定することが可能です。同じパターンのサンプルであれば、
プログラムを変更することなく測定が可能で、大量のサンプル測定に必要な工数を削減できます。
標準構成には、4 ポジションのマルチプルコリメータアセンブリと、凹部測定用の可変焦点カメラが含まれます。コリメータと焦点距離はアプリケーションに合わせてカスタマイズ可能です。
シリコンドリフト検出器(SDD)と長寿命のマイクロフォーカス X 線管が搭載されています。
用途
- 電子部品、半導体部品の膜厚測定
- 一般電気めっきのめっき厚測定
仕 様
| 測定対象 | アルミニウム13〜ウラン92 |
|---|---|
| X線源 | 50 W(50ｋV 1ｍA)小型空冷式X線管球 Wターゲット |
| 検出器 | シリコンソリッドステート検出器 |
| 測定可能層数 | 最大5層(4層+基材)と各層の10エレメント 最大30エレメントまで同時測定 |
| フィルタ/コリメータ | 4 一次フィルター/4 コリメーター |
| 焦点距離 | フォーカスレーザー同期 複数の固定焦点 |
| デジタルパルス処理 | フレキシブルなシェーピングタイムを持つ4096CHデジタルマルチチャンネルアナライザー。デッドタイム補正やエスケープピーク補正を含む自動信号処理。 |
| 制御PC | Intel CORE i5 第 9 世代デスクトップ プロセッサ、ソリッド ステート ハード ドライブ、16 GB RAM、Microsoft Windows 11 Professional 64 ビット相当 |
| カメラ光学系 | 1/4インチ(6mm)CMOS-1280×720VGA解像度 |
| ビデオの倍率 | 30倍マイクロおよび7倍デジタルズーム：標準; 55Xマイクロ：オプション |
| 電源 | 150W、100-240ボルト、周波数範囲は47Hz〜63Hzです |
| 総重量 | 52-70kg |
| 標準電動/プログラマブルXYテーブル | テーブルサイズ: 330mm (13″) x 381mm (15″)| 移動: 127mm (5″) x 152mm (6″) |
| 拡張プログラマブルXYテーブル | テーブルサイズ：718mm(28.25 “)x 610mm(24”)| 移動：254mm(10 “)x 254(10”) |
| 最大拡張プログラム可能 XYテーブル | テーブルサイズ: 813mm (32″)x 781mm (30.75″)| 移動: 406mm (16″)x 406mm (16″) |
| 内部寸法 | 高さ：140mm(5.5 “)、幅：305mm(12”)、奥行き：330mm(13 “) |
| 外形寸法 | 高さ：457mm(18 “)、幅：457mm(18”)、奥行き：610mm(24 “) |
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